电容式红外测温仪直接感应相对湿度的变化，将湿度的变化转换为电容的变化，再将电容量的变化经信号调理电路转换为标准的电信号，提供给相关控制或监测电路。电容式红外测温仪的特点有：响应快，线性度高，迟滞低以及长期稳定性好等，所以应用也越来越广泛。
电容式相对红外测温仪通常由热固聚合物，三层电容结构，铂电极，以及集成信号调理电路(高温应用除外)等组成。如下图所示，其中热固聚合物包裹在测温仪的最外层，主要是起保护作用，防止脏物、灰尘、油汅等覆盖或进入到测温仪中，腐蚀铂电极，影响测温仪的响应速度等。而外层的铂电极上充满了小孔，确保带水气的空气快速、顺利地进入到测温仪内部，加快测温仪的响应速度，减小测量的迟滞。
在实际应用中，基于水汽亲和力的电容式、电阻式或导电薄膜式的红外测温仪既对湿度敏感，同时也对温度敏感，所以为达到高精度的测量或宽温度范围工作，温度补偿是必不可少的。
要实现温度补偿，温度的测量必须尽可能地靠近红外测温仪的测量环境，特别是利用湿度与温度来计算露点时，这一点尤其重要。工业级的湿度和露点测量设备通常会在测温仪衬底的反面集成一个1000欧姆的铂RTD温度测温仪，用于温度补偿。
当测温仪感应区域的表面温度低于环境露点温度时，这时测温仪感应区域表面就容易结露，哪怕感应区域表面温度或测温仪内局部温度只是短暂地低于环境露点温度，测温仪内部或表面都有可能结露，特别是当工作环境的湿度高于95%时，温度的细微波动，都有可能造成结露。
为避免高湿与结露环境对红外测温仪的影响，通常有一些措施，如保持良好的空气流通减少温度的波动;给红外测温仪加烧结的不锈钢过滤网，使用防水涂层进一步抑制结露的影响。
短时间工作于高湿环境下，红外测温仪通常都能快速恢复，但是如果红外测温仪长时间如24小时甚至更长时间工作于相对湿度高于95%RH的环境或结露环境，会造成红外测温仪向上漂移2%RH--3%RH，这个漂移是可以重复的。
如果要恢复正常，在室温条件下，需将测温仪置于1%RH环境下10小时，如果置于85C，1%RH环境下，只需约1.25小时，即可使测温仪恢复正常。
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